激光传感芯片研发平台

近年来，激光传感技术在众多领域的应用日益广泛，尤其是在精密测量、智能制造和安全监测等方面。激光传感器凭借其高精度和高灵敏度的特点，逐渐成为各行业的关键技术支撑。随着技术的不断进步，激光传感芯片的研发愈发显得重要，不仅在技术创新方面具有重要影响，同时也为相关工业生产带来了显著的经济效益。然而，我国在激光芯片研发方面仍面临一些“卡脖子”问题，尤其是在技术自主可控性和产业链完整性方面。当前，国内激光芯片产业主要依赖于进口设备和技术，核心技术的掌握程度相对较低。这导致我国在激光传感器领域的基础研究和应用开发上缺乏自主知识产权，影响了激光技术在高端制造和智能化应用中的进一步推广。同时，产业链的不完整使得激光芯片的生产、封装和测试环节难以形成高效协作，制约了产品研发和市场竞争力的提升。为了应对这些挑战，清华大学合肥公共安全研究院建立了激光传感芯片研发平台，旨在推动激光传感芯片的自主研发和产业化进程。

该平台配备了一系列先进的设备，包括银浆贴片机、氦离子质谱仪、LIV测试仪、波长计以及光谱仪等，各种封装与测试设备为激光芯片的研究和开发提供了全面的技术保障。通过这些设备，研究团队能够对激光芯片进行完整的特性测试和性能评估，从而确保其在应用中的稳定性和可靠性。同时，该平台具备强大的封装能力，年产TO激光器高达100万只，还可以进行包括老化测试和传感器中试在内的多项测试，年产传感器中试能力可达20万只。这种高效的生产和测试能力，使得平台能够为气体探测用DFB激光芯片、窄线宽振动传感激光芯片及其他相关传感器的研发提供坚实的技术支持和保障。

图1 激光芯片目检 图2 激光芯片光栅及波导精度检测